TX-20A

TX-20

【性能参数】

低温可到-30℃
磁耦合泵,无泄漏
使用环保可替代冷媒
可远程控制(CMS)
服务于 8英寸(Applied DPS poly,DPS metal,Super E; Lam Alliance 9100 oxide,9400 poly,9600 metal, Lam Exelan); 12英寸(Lam 2300 Poly,Metal,EXELAN)

【产品规格】

型号 TX-20A
温度控制 温度控制范围 : -30℃~+90℃
温度控制精度 : ±0.1℃(无负载变化时)
循环液 :Novec;Galden;DI/EG;DI
1.1Kw磁耦合泵
20 Litter/Min @0.4Mpa(-10 deg.C/ HT-135)
冷冻机 冷却能力:3.6kw @-20℃
冷媒:HFC
冷却水:25L/min @+20℃
加热丝 2Kw
外形尺寸 485(W)×675(D)×1200mm(H)
重量 约200Kg
电源 3相AC208V 32A


冷却能力曲线】

TX-20A