TX- 系列

TX-30S

客户选择TX-系列是因为其紧凑的尺寸,精确的温度控制和其高可靠性。 TX-系列可加热和制冷。您也可以选择一个更宽控温度范围,或为您定制一个特殊的配置。 

【应用领域】
  • 半导体设备 8英寸(Applied DPS poly/metal,Super E, eMax; Lam Alliance 9100 oxide,9400 poly,9600 metal, Lam Exelan); 12英寸(Lam 2300 Poly,Metal,EXELAN;Applied Super E, eMax), PVD, CVD等
  • 激光设备, 分析设备, 扫描电子显微镜, Turbo或扩散泵, 太阳能/平板显示器


    【性能参数】
    ●低温可到-60℃, ●磁耦合泵,无泄漏, ●使用环保可替代冷媒, ●可远程控制(CMS)
    ●对应各主机厂商通信协议


  • 【水冷系列产品】
    热交换器
    单通道低温
    单通道低温
    单通道超低温
    双通道低温

    【小型高精度风冷(水冷)系列产品】
    单通道低温
    单通道低温
    单通道低温