半导体制造

Semiconductor我们的团队在半导体行业拥有20多年的工作经验,我们的重点在解决晶圆厂的压缩机冷水机组的可靠性,占地面积,第一晶圆效果,晶圆到晶圆的一致性和功耗等问题。我们提供的产品涉及到以下半导体行业的应用:

SC-W- 中的板式热交换器可精确控制超高纯度或有腐蚀性液体的温度

等离子蚀刻机和等离子灰化: TX-A冷水机是特别为poly, metal, and trans-ambient oxide dry etchers设计的。

计量工具,双光束扫描电镜(SEM)和其他分析技术:SC-W是一个紧凑,超静音安静的产品,可精确控制流体的温度。

我们客户的一些相关的应用:

  • Chemical baths and wet benches
  • 浸入式光刻技术
  • 等离子体刻蚀
  • 离子灰化
  • 电化学电镀
  • 双束扫描电镜
  • 缺陷分析
  • CMP
  • HDP CVD粒子控制
  • Edge bead grinding
  • 光学温度控制
  • 机箱温度控制

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